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“供应气体质量流量传感器FS1015系列”参数说明
| 品牌： | Siargo | 流体： | 气体 |
| 结构型式： | 热质量流量计量 | 型号： | FS1015 |
| 规格： | 详见规格书 | 商标： | 详见规格书 |
| 包装： | 详见规格书 |
“供应气体质量流量传感器FS1015系列”详细介绍
一、气体质量流量传感器-FS1015系列主要特性：
1）传感器灵敏度高，有极小的始动流量
2）传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
3）在单个芯片上集成了多个传感器，使传感器的量程比大大提高
4）传感器的零点稳定度高
5）全量程高稳定性
6）全量程高精确度和优良的重复性
7）低功耗 ＜100 mW
8）低压损 ＜1300 Pa
9）响应时间快 8 msec
二、气体质量流量传感器-FS1015系列典型应用：
适用于电气体质量流量的测量。
1）传感器灵敏度高，有极小的始动流量
2）传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
3）在单个芯片上集成了多个传感器，使传感器的量程比大大提高
4）传感器的零点稳定度高
5）全量程高稳定性
6）全量程高精确度和优良的重复性
7）低功耗 ＜100 mW
8）低压损 ＜1300 Pa
9）响应时间快 8 msec
二、气体质量流量传感器-FS1015系列典型应用：
适用于电气体质量流量的测量。
技术参数：
|
产品 |
FS1015CL |
单位 |
|
流量范围 |
0~100 / 0~150 |
SLPM |
|
量程比 |
100：1 |
|
|
精度 |
±(1.5+0.2FS) |
% |
|
重复性 |
0.25 |
% |
|
零点输出飘移 |
±30 |
mV |
|
输出飘移 |
±0.12 |
%/ ℃ |
|
响应时间 |
8 |
ms |
|
工作电压 |
5±1% |
Vdc |
|
输出方式 |
线性，模拟电压0.5~4.5Vdc |
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|
最大流量压损 |
1300 |
Pa |
|
最大工作压力 |
0.2 |
MPa |
|
工作温度 |
-10~+55 |
℃ |
|
储存温度 |
-20~+65 |
℃ |
|
工作湿度 |
<95%RH(无结冰、无凝露) |
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电气接口 |
5针插座，AMP 103956-4 |
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机械接口 |
ISO-15mm |
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|
校准方式 |
空气，20℃，101.325kPa |
|
|
重量 |
21.5 |
g |
