“DPLC高温用平坦化硬掩膜”参数说明
是否有现货: | 是 | 认证: | IS 9001:2008 |
加工定制: | 是 | 种类: | 半导体流程化合物材料 |
用途: | 硬掩膜平坦化 | 型号: | DPLC |
规格: | 高温用旋转涂层硬掩膜 | 商标: | DCT material |
包装: | 玻璃隔光容器(1加仑,0.5加仑) | 产量: | 45000 |
“DPLC高温用平坦化硬掩膜”详细介绍
产品详情介绍:
DPLC是高温用旋转涂层硬掩膜。
特性:
1.和 HT-SOC对比,平坦化率改善。
2.卓越的热稳定性。
3.生产力及沉积设备的投入减少。
4.卓越的溶解度&均匀的涂层性。
现有流程:
1.为了顺利完成光刻胶流程必须先进行平坦化流程。
2.需要Mask修正及光学邻近矫正
3.存在空隙
DPLC流程:
1.平坦化特性提高
2.不存在空隙(卓越的空隙填充特性)
3.流程中费用减少及生产力增大
DPLC是高温用旋转涂层硬掩膜。
特性:
1.和 HT-SOC对比,平坦化率改善。
2.卓越的热稳定性。
3.生产力及沉积设备的投入减少。
4.卓越的溶解度&均匀的涂层性。
现有流程:
1.为了顺利完成光刻胶流程必须先进行平坦化流程。
2.需要Mask修正及光学邻近矫正
3.存在空隙
DPLC流程:
1.平坦化特性提高
2.不存在空隙(卓越的空隙填充特性)
3.流程中费用减少及生产力增大