“单晶硅片 硅基片 衬底硅基片 99.999%”参数说明
纯度: | 99.999 | 抛光类型: | 单/双面抛光 |
尺寸: | 1"2"3"4"5"6" | 产量: | 10000 |
“单晶硅片 硅基片 衬底硅基片 99.999%”详细介绍
产品规格表
FZ抛光片
本征及超高阻区熔硅抛光(FZ)
N P
<100><110><111>
1英寸-6英寸
>1000
N
<100><110><111>
1英寸-6英寸
30-800
直拉区熔硅抛光片(CFZ)
N P
<100><110><111>
1英寸-6英寸
1-50
气相掺杂区熔硅抛光片(GDFZ)
N P
<100><110><111>
1英寸-6英寸
0.001-150
CZ抛光片
品种
导电类型
晶向
直径范围
电阻率范围/Ω.cm
磁场直拉硅抛光片(MCZ)
N P
<100><110><111>
1英寸-6英寸
1-300
直拉硅单晶抛光片(CZ)
N P
<100><110><111>
1英寸-6英寸
1-300
磁场直拉重掺硅抛光片(MCZ)
N P
<100><110><111>
1英寸-6英寸
0.001-1
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