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“全自动硅片下料机GXL-5C”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 加工定制： | 是 |
| 品牌： | GST | 适用领域： | 半导体行业 |
| 输送能力： | 4000 片/小时 | 输送物品： | 硅片 |
| 型号： | GST-GXL-5C | 规格： | 3600（L）×2000（W）×2000 |
| 商标： | GST | 包装： | 箱 |
| 3600（L）×2000（W）×2000（H）（mm： | 4000 片/小时 | 产量： | 1000 |
“全自动硅片下料机GXL-5C”详细介绍
1、设备用途：
将5道在线制绒或刻蚀设备中的硅片装入 25 片/50片篮具中。整个过程只需定期把篮具放置于自动换篮组件上，大大降低人工强度，降低碎片率，减少手工跟硅片的接触，避免了人为因素对硅片的污染，有效地提高了成品率和转换率，创造可观的经济效益
2、主要技术参数
外形尺寸：约 3600（L）×2000（W）×2000（H）（mm）
最大装片效率：4000 片/小时
碎片率：≤5/10000 (不含本身缺陷片，A 类片)
工位数：5 工位（在线设备为 5 道滚轮设计）
设备兼容 156.8×156.8(±0.5mm)、125×125 (±0.5mm)两种、
25 片/50 片篮具必须符合自动化的要求
3、主要结构
缓存组件：
缓存篮具的升降采用伺服电机精确控制运动。
装片组件：
皮带嵌入篮具，确保装片效果；
篮具的升降采用伺服电机精确控制运动。
自动换篮组件：
自动换篮组件分为上下两层，由同步带实现传送。空篮具放
在上层入口，满篮具由篮传送至下层出口
将5道在线制绒或刻蚀设备中的硅片装入 25 片/50片篮具中。整个过程只需定期把篮具放置于自动换篮组件上，大大降低人工强度，降低碎片率，减少手工跟硅片的接触，避免了人为因素对硅片的污染，有效地提高了成品率和转换率，创造可观的经济效益
2、主要技术参数
外形尺寸：约 3600（L）×2000（W）×2000（H）（mm）
最大装片效率：4000 片/小时
碎片率：≤5/10000 (不含本身缺陷片，A 类片)
工位数：5 工位（在线设备为 5 道滚轮设计）
设备兼容 156.8×156.8(±0.5mm)、125×125 (±0.5mm)两种、
25 片/50 片篮具必须符合自动化的要求
3、主要结构
缓存组件：
缓存篮具的升降采用伺服电机精确控制运动。
装片组件：
皮带嵌入篮具，确保装片效果；
篮具的升降采用伺服电机精确控制运动。
自动换篮组件：
自动换篮组件分为上下两层，由同步带实现传送。空篮具放
在上层入口，满篮具由篮传送至下层出口
设备主要工作流程
???? 硅片由在线设备纵向传送皮带传送，纵向传送皮带分为两段，
前段为衔接皮带，将在线设备的硅片过渡至皮带后变为快速传
送；
???? 纵向传送皮带后段将硅片快速传送至横向传送皮带上方；
???? 纵向传送皮带在在气缸整体驱动下下降，将硅片平稳过渡到横
向传送皮带上；
???? 横向传送皮带为五段，分别向左（3 片）和右（2 片）传送，
横向传送皮带由外向内依次启动；
???? 正常状况下硅片经过缓存、装片的皮带传送结构直接装入篮
出片组件
自动换篮组件
装片
组件
缓存
组件
中国电子科技集团公司第二研究所全自动硅片下料机技术规格书
5
具，篮具的升降由伺服电机驱动线性模组实现；
???? 空篮具放在左右两侧自动换篮组件上层的入口；
???? 同步带传送机构将篮具传送至篮具传送升降机构，篮具传送机
构下降将篮具传送至装片区；
???? 篮具装满后由同步带传送至自动换篮组件下层的出口；
???? 篮具更换时硅片存入缓存结构的暂存盒内；
???? 整个过程只需要把篮具放置于自动换篮组件上，大大降低人工
强度，降低碎片率，减少手工跟硅片的接触，避免了人为因素
对硅片的污染，有效地提高了成品率和转换率，创造可观的经
济效益。
